湿度传感器的种类很多,没有统一分类标准。按探测功能来分,可分为湿度型、相对湿度型和结露型,期中湿度型为数甚少;按传感器的输出信号来分,可分为电阻型、电容型、电抗型和频率型等,期中电阻型zui多;按湿敏元件工作机理来分,可分为亲合力型和非水分子亲合力型两大类,其中水分子亲合力型应用更广泛;按材料来分,可分为陶瓷型。有机高分子型,半导体型和电解质型等。
利用陶瓷湿度敏感材料制成的湿度传感器称为陶瓷湿度传感器。陶瓷湿度敏感材料主要是利用陶瓷烧结制备时形成的多孔结构,吸附或凝聚水分子作用导电通路,从而改变陶瓷本身的电导率或电容量。利用多孔结构的陶瓷的电导率或电容量随外界湿度变化的特点,可以制成湿度传感器。
陶瓷湿度敏感材料按其结构可以分为尖晶石型、金红石型、钙钛矿型等;按其感湿特性大体可以分为电阻型、电容型和阻抗型等;按其工艺特点可以分为烧结型、厚膜型、薄膜型和MOS型等。
陶瓷湿度传感器的产品有MgCr2O4- TiO2(铬酸镁-二氧化钛系)、ZnO-Cr203(氧化锌一三氧化二铬)系、ZrO2系、AL2O3系、 TiO2-V2O5(二氧化钛)系、Fe3O4系。_它们的感温特征量大多数为电阻,除Fe3O4系外,都为负特牲湿敏传感器,即随着环境湿度的增加电阻值降低。
陶瓷湿度管感器有很多优点,例如,测湿范围宽,基本上可实现全湿范围内的湿度测量;工作温度高,常温湿度传感器的工作温度在150度以下,而高温湿度传感器的工作温度可达到800度;响应时间短,多孔陶瓷的表面积大,易于吸湿和脱湿;湿滞小、抗沾污、可高温清洗;灵敏度高、稳定性好。